資料詳細

【図書】 エレクトロニクス薄膜技術

ＣＭＣテクニカルライブラリー --
白木靖寛／監修 -- シーエムシー出版 -- ２００８．５ -- ２１ｃｍ -- ２５３ｐ

タイトル	エレクトロニクス薄膜技術
シリーズ名	ＣＭＣテクニカルライブラリー
著者名等	白木靖寛／監修
出版	シーエムシー出版２００８．５
大きさ等	２１ｃｍ２５３ｐ
分類	549.8
件名	薄膜
注記	『次世代エレクトロニクス薄膜技術』（２００３年刊）の普及版
目次	第１章　薄膜作製技術の歴史と意義；第２章　計算化学による結晶成長制御手法；第３章　常圧プラズマＣＶＤ技術とその応用；第４章　ラダー電極を用いたＶＨＦプラズマ応用薄膜形成技術；第５章　触媒化学気相堆積法とその応用；第６章　コンビナトリアルテクノロジー―集積化薄膜技術による材料開発の革新；第７章　パルスパワー技術と応用；第８章　半導体薄膜の作製；第９章　ナノ構造磁性薄膜の作製とスピントロニクスへの応用；第１０章　強誘電体薄膜の作製とメモリ素子への応用
ISBN(13)、ISBN	978-4-88231-993-1　　 4-88231-993-4
書誌番号	1108034755
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1108034755

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		549.8	一般書	利用可	-	2040866453