LSIとの融合 --
江刺正喜 /共著, 小野崇人 /共著   -- 森北出版 -- 2016.6 -- 22cm -- 151p

資料詳細

タイトル これからのMEMS
副書名 LSIとの融合
著者名等 江刺正喜 /共著, 小野崇人 /共著  
出版 森北出版 2016.6
大きさ等 22cm 151p
分類 530
件名 マイクロマシン , 大規模集積回路
注記 文献あり 索引あり
著者紹介 【江刺正喜】1949年 宮城県に生まれる 1976年 東北大学大学院博士課程(電子工学専攻)修了 1990年 東北大学・教授(精密工学科) 2007年 東北大学原始分子材料科学高等研究機構・教授 (兼)マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)・センター長(2010年) 革新的イノベーション研究機構(COI)リサーチフェロー(2015年) 現在に至る 工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
内容紹介 情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術による応用やニーズ面、開発の実際などを具体的に解説。MEMSの概要や現状を学ぶことができる。2011年発行『はじめてのMEMS』続編。
要旨 MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。
目次 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合);第2章 次世代携帯機器;第3章 センサネットワーク・高機能センサ;第4章 光マイクロシステム;第5章 バイオ・医療用マイクロシステム;第6章 製造・検査装置;第7章 高度化と有効活用への道
ISBN(13)、ISBN 978-4-627-77551-0   4-627-77551-2
書誌番号 1113389577
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113389577

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