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【図書】 はじめての半導体ドライエッチング技術

改訂版 -- 現場の即戦力 --
野尻一男 ／著   -- 技術評論社 -- ２０２０．１１ -- ２１ｃｍ -- １８８ｐ

資料詳細

タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術
版情報 改訂版
シリーズ名 現場の即戦力
著者名等 野尻一男 ／著  
出版 技術評論社 ２０２０．１１
大きさ等 ２１ｃｍ １８８ｐ
分類 549.8
件名 半導体
注記 索引あり
著者紹介 １９７３年　群馬大学工学部電子工学科卒業。１９７５年　群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。同年（株）日立製作所入社。２０００年　ラムリサーチ（株）入社、取締役・ＣＴＯに就任。２０１９年独立し、ナノテクリサーチ代表として技術および経営のコンサルティングを行っている。２０１９年　ＤＰＳ　Ｎｉｓｈｉｚａｗａ　Ａｗａｒｄを受賞。主な著書『先端電気化学』（丸善、共著）など。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
目次 １章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術；２章　ドライエッチングのメカニズム；３章　各種材料のエッチング；４章　ドライエッチング装置；５章　ドライエッチングダメージ；６章　新しいエッチング技術；７章　アトミックレイヤーエッチング（ＡＬＥ）；８章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望
ISBN(13)、ISBN 978-4-297-11599-9　　 4-297-11599-9
書誌番号 1113823307
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113823307

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 549.8 一般書 利用可 - 2067367572 iLisvirtual

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