資料詳細

【図書】 次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術

會田英雄／監修, 土肥俊郎／監修 -- Ｒ＆Ｄ支援センター -- ２０２４．４ -- ２６ｃｍ -- ５３８ｐ

タイトル	次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術
著者名等	會田英雄／監修, 土肥俊郎／監修
出版	Ｒ＆Ｄ支援センター２０２４．４
大きさ等	２６ｃｍ５３８ｐ
分類	549.7
件名	集積回路
ISBN(13)、ISBN	978-4-905507-71-0　　 4-905507-71-0
書誌番号	1124032588
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1124032588

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学		549.7	一般書	予約受取待	-	2077077734