資料詳細

【図書】 マイクロリソグラフィー

ＩＣ，ＬＳＩはこうしてつくられる -- Ｆｒｏｎｔｉｅｒ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ --
野々垣三郎／著 -- 丸善 -- １９８６．１０ -- １９ｃｍ -- １１６ｐ

タイトル	マイクロリソグラフィー
副書名	ＩＣ，ＬＳＩはこうしてつくられる
シリーズ名	Ｆｒｏｎｔｉｅｒ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｓｅｒｉｅｓ
著者名等	野々垣三郎／著
出版	丸善１９８６．１０
大きさ等	１９ｃｍ１１６ｐ
分類	549.7
件名	リソグラフィー
要旨	ＩＣ、ＬＳＩなどの半導体集積回路を製作するのには、高度な写真製版技術が用いられている。石版印刷から始まったこれらの技術はいまやミクロン単位の微細加工を可能にするものになった。これらの半導体微細加工技術はどのようにして発展してきたのだろうか。また、将来はどのような発展をするのだろうか。これを概観してみるのが本書の目的である。
目次	１　光微細加工のルーツ；２　フォトレジストとは何か；３　半導体デバイスの微細加工；４　半導体微細加工の発展をたどる；５　電子線リソグラフィー；６　Ｘ線リソグラフィー；７　深紫外リソグラフィー；８　高解像度ネガ型フォトレジスト；９　レジストの多層化；１０　リソグラフィーの将来
ISBN(13)、ISBN	4-621-03115-5
書誌番号	1190234708
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190234708

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.7/80	一般書	利用可	-	0003791165