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【図書】 サブミクロンデバイス ２

電子材料シリーズ --
小柳光正 ／著   -- 丸善 -- １９８８．１ -- ２２ｃｍ -- ２７３ｐ

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タイトル サブミクロンデバイス ２
シリーズ名 電子材料シリーズ
著者名等 小柳光正 ／著  
出版 丸善 １９８８．１
大きさ等 ２２ｃｍ ２７３ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
内容 各章末：文献　参考書：ｐ２６６
要旨 ＶＬＳＩデバイスは、今日ますます微細化し、ついにサブミクロンの時代に入ったといえよう。それにともないＶＬＳＩデバイスはここにきて、数々の深刻な問題と直面することとなった。本書は、先に刊行された「サブミクロンデバイス１」の続編として、サブミクロンデバイスの抱える最重要課題を根底から詳説するものである。サブミクロンデバイスを本格的に学ぼうとする者にとって、まさに最良の師となる１冊である。
目次 １　序論；２　比例縮小則とデバイス性能；３　ゲート絶縁膜の信頼性（ＳｉＯ２膜の電気伝導；界面準位の発生とトラップ；ＳｉＯ２膜の絶縁破壊）；４　ホットキャリア注入現象（ＮＭＯＳトランジスタのホットキャリア現象；ＰＭＯＳトランジスタのホットキャリア現象；基板中への少数キャリア注入；高耐圧、高信頼性ＭＯＳトランジスタ）；５　ソフトエラー（α線による雑音電荷の発生とソフトエラー；ＤＲＡＭにおけるソフトエラー）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-621-03238-0
書誌番号 1190265937
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190265937

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/188/2 一般書 利用可 - 0003791149 iLisvirtual

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