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【図書】 ＶＬＳＩ技術

ＶＬＳＩ工学シリーズ --
外山正春 ／編著   -- 昭晃堂 -- １９８８．６ -- ２２ｃｍ -- ２３５ｐ

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タイトル ＶＬＳＩ技術
シリーズ名 ＶＬＳＩ工学シリーズ
著者名等 外山正春 ／編著  
出版 昭晃堂 １９８８．６
大きさ等 ２２ｃｍ ２３５ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
内容 各章末：参考文献
目次 １　基本素子；２　集積化プロセス；３　単位プロセス技術；４　プロセス設計；５　プロセス評価；６　界面現象と信頼性；７　格子欠陥と不純物制御；８　超微細リソグラフィ技術；９　超高集積化技術；１０　クリーンルーム
ISBN(13)、ISBN 　　 4-7856-2035-8
書誌番号 1190280804
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190280804

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/54 一般書 利用可 - 0004251989 iLisvirtual

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