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【図書】 薄膜材料工学

北田正弘 ／〔ほか〕編著   -- 海文堂出版 -- １９８９．１１ -- ２２ｃｍ -- ２５４ｐ

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タイトル 薄膜材料工学
著者名等 北田正弘 ／〔ほか〕編著  
出版 海文堂出版 １９８９．１１
大きさ等 ２２ｃｍ ２５４ｐ
分類 549
件名 電子部品 , 薄膜
内容 各章末：文献
目次 第１章　薄膜の特徴；第２章　薄膜の形成法；第３章　薄膜の形成過程；第４章　薄膜の基礎物性；第５章　薄膜の構造と欠陥；第６章　薄膜の評価法；第７章　金属薄膜とその応用；第８章　半導体薄膜とその応用；第９章　セラミックス薄膜とその応用；第１０章　高分子薄膜とその応用
ISBN(13)、ISBN 　　 4-303-71260-4
書誌番号 1190334677
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190334677

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/169 一般書 利用可 - 0004332636 iLisvirtual

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