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【図書】 新ＬＳＩ工学入門

右高正俊 ／著   -- オーム社 -- １９９２．３ -- ２２ｃｍ -- ２４９ｐ

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タイトル 新ＬＳＩ工学入門
著者名等 右高正俊 ／著  
出版 オーム社 １９９２．３
大きさ等 ２２ｃｍ ２４９ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
内容 参考文献：ｐ２３９～２４０
要旨 ＬＳＩの基本から加工技術まで平易に解説した標準テキスト。ＬＳＩのすべてについて体系的に。半導体技術の中心、ＬＳＩプロセスをわかりやすく図・表を豊富に用いて解説。
目次 １章　概論（トランジスタの発明；集積回路の発明；ＬＳＩプロセス工学とは）；２章　ＬＳＩ構成要素の基本的働き；３章　ＬＳＩ構成部品の電気的性質；４章　ＬＳＩ製造の要素技術；５章　ＬＳＩ用微細加工技術―リソグラフィ技術；６章　ＬＳＩプロセス概要―豊田工業大学における実践例を中心として；７章　ＬＳＩプロセスを支える技術―豊田工業大学での実例を中心に
ISBN(13)、ISBN 　　 4-274-03391-0
書誌番号 1190421701
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1190421701

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/187 一般書 利用可 - 0004953983 iLisvirtual

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